日本日立可變壓力掃描電子顯微鏡SU6600概述

該顯微鏡采用可變壓力(VP)技術，除了具有高分辨率成像和樣品物性表征特性外，還支持X 射線能譜儀， X射線波譜儀以及電子背散射衍射系統進行各種樣品分析。在可變壓力模式下，操作者可改變樣品室的真空狀態由高真空狀態改為低真空狀態。

電子槍：ZrO/W肖特基場發射電子槍

分辨率：1.2 nm /30 kV，3.0 nm /1 kV

探針電流：1pA~200nA

樣品倉壓力：10-4Pa(高真空), 10~300Pa(低真空)

樣品尺寸：樶大直徑150 mm×高40 mm

日本日立可變壓力掃描電子顯微鏡SU6600特點

★ 樶大200nA的探針電流，可滿足EDX、WDX、EBSP、CL等應用
★ 配有VP功能，可自動實現壓差光闌的安裝和取出
★ 配有二次電子探頭和背散射探頭，可選配ESED
★ 大型分析型樣品室，可方便的安裝多種分析附件
★ 可裝載150mm直徑、40mm高樣品
★ 電腦控制的5軸優中心馬達樣品臺