韓國(guó)帕克原子力顯微鏡NX20概述

作為一款缺陷形貌分析的精密測(cè)量?jī)x器，其主要目的是對(duì)樣品進(jìn)行缺陷檢測(cè)。而儀器所提供的數(shù)據(jù)不能允許任何錯(cuò)誤的存在。Park NX20，這款全球樶精密的大型樣品原子力顯微鏡，憑借著出色的數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性，在半導(dǎo)體和超平樣品行業(yè)中大受贊揚(yáng)。
樶強(qiáng)大全麺的分析功能
Park NX20具備獨(dú)一WU二的功能，可快速幫助客戶找到產(chǎn)品失效的原因，并幫助客戶制定出更多具有創(chuàng)意的解決方案。無(wú)與LUN比的精密度為您帶來(lái)高分辨率數(shù)據(jù)，讓您能夠更加專(zhuān)注于工作。與此同時(shí)，真正非接觸掃描模式讓探針尖DUAN更鋒利、更耐用，無(wú)需為頻繁更換探針而耗費(fèi)大量的時(shí)間和金QIAN。
即便是第YI次接觸原子顯微鏡的工程師也易于操作
ParkNX20擁有業(yè)界樶為便捷的設(shè)計(jì)和自動(dòng)界面，讓你在使用時(shí)無(wú)需花費(fèi)大量的時(shí)間和精力，也不用為此而時(shí)時(shí)不停的指導(dǎo)初學(xué)者。借助這一系列特點(diǎn)，您可以更加專(zhuān)注于解決更為重大的問(wèn)題，并為客戶提供及時(shí)且富有洞察力的失效分析報(bào)告。

韓國(guó)帕克原子力顯微鏡NX20特點(diǎn)

★ 為FA和研究實(shí)驗(yàn)室提供精準(zhǔn)的形貌測(cè)量解決方案

■缺陷檢查成像和分析

■高分辨率電子掃描模式

■對(duì)樣品和基片進(jìn)行表面粗糙度測(cè)量

■樣品側(cè)壁三維結(jié)構(gòu)測(cè)量

★ 低噪音Z探測(cè)器可精卻測(cè)量AFM表面形貌

■非接觸模式，降低針尖磨損，減少換探針時(shí)間

■非接觸模式下的快速缺陷成像

■業(yè)內(nèi)領(lǐng)XIAN的三維結(jié)構(gòu)測(cè)量的解耦XY掃瞄系統(tǒng)

■通過(guò)使用熱匹配的組件，盡量減少系統(tǒng)漂移和遲滯現(xiàn)象

★ 低噪聲Z探測(cè)器可精卻測(cè)量AFM表面形貌

■業(yè)界領(lǐng)XIAN的低噪聲Z檢測(cè)器測(cè)量樣品表面形貌

■沒(méi)有過(guò)沿過(guò)沖和壓電蠕變誤差的真正樣品表面形貌

■即使是高速掃描也可以保持精卻的表面高度

■行業(yè)領(lǐng)XIAN的前向和后向掃描間隙橫向漂移小于0.15%

★ 用真正的非接觸掃描方式節(jié)省成本

■在一般用途和缺陷成像中，具有普通掃描模式10倍或更長(zhǎng)的針尖使用壽命

■減少針尖的尖DUAN摩損

■樶真實(shí)的再現(xiàn)樣品微觀三維形貌，減少樣品在掃描過(guò)程中的損壞或變形

★ 簡(jiǎn)單的探針和樣品更換

獨(dú)有的專(zhuān)LI設(shè)計(jì)讓您輕易地用手從側(cè)面更換新的探針和樣品。

借助安裝懸臂式探針夾頭中于預(yù)先校準(zhǔn)的探針位置，無(wú)須再進(jìn)行繁瑣的激光調(diào)節(jié)工作。

★ 帶有兩級(jí)反饋系統(tǒng)的閉環(huán)XY掃描器

XY掃平板掃描器的每個(gè)軸上的低噪聲位移傳應(yīng)器，

可以在進(jìn)行大掃描范圍時(shí)提高樣本掃描正交性。

次級(jí)傳感器會(huì)對(duì)非線性和非平面位置錯(cuò)誤進(jìn)行補(bǔ)償，樶真實(shí)的還原樣品的形貌。

★ 閃電般快速的自動(dòng)進(jìn)針

自動(dòng)的探針樣品進(jìn)針功能能讓用戶無(wú)需進(jìn)行干預(yù)操作。

通過(guò)監(jiān)測(cè)懸臂接近表面的反應(yīng)，Park NX20能夠在探針裝載后，十秒內(nèi)自動(dòng)快速完成探針進(jìn)針操作。高速、軸掃描器的快速信息反饋和NX電子控制器的低噪聲信號(hào)處理使得探針無(wú)需用戶干預(yù)就能快速接觸樣品表面。

★ 主動(dòng)溫控隔音罩

專(zhuān)為Park NX20設(shè)計(jì)的隔音罩，主動(dòng)進(jìn)行溫度調(diào)節(jié)功能，保證側(cè)試環(huán)境在一個(gè)完全穩(wěn)定的熱環(huán)境中。 Park NX20 還具有主動(dòng)隔振功能，完全與外界的聲、光噪聲隔離，因此測(cè)試的準(zhǔn)確性將不受到外界干擾。